气体输送和混合

将腐蚀性气体输送到密封的工艺室，是湿法处理系统（例如，清洗和蚀刻半导体固定设备）中的典型操作。因此，气体的高效输送至关重要，无论是需要让气体保持分离还是混合，且要保证没有泄露、限制湍流且气体通过工艺室中最小孔洞。气体的输送过程会用到复杂和多组件的气体混合器和耐腐蚀材质的供给器装配件。

这一切都可以通过 3D Systems 提供的直接金属 3D 打印解决方案和半导体设备相关专业知识进行优化。气体输送系统可以使用更少的部件来设计，以适应狭小空间，提升可靠性。此外，可以在更短的时间内开发已优化且更复杂的气体混合器，以确保气体更快速且高效地混合。